Sensor de gás (cantilever) com tecnologia MOS - Como funciona?

[Luiz Fernando Vieira]

Estou tendo problemas para entender como funciona o sensor de gás com tecnologia MOS. Não consigo encontrar um material de estudo com os princípios básicos de operação. Consigo encontrar alguns assuntos, mas com informações como conhecimento muito profundo, não tenho nenhum conhecimento aprofundado sobre o assunto. Alguém poderia me explicar um link, documento (PDF) que fale sobre esse assunto de uma forma fundamental como funciona? 

Eu vou te dizer o que eu entendo. quando temos as cavidades ressonantes no caso deste dispositivo cantilever, quando há uma molécula na superfície deste dispositivo, ela responderá em uma certa frequência. Assim saberemos qual substância está na superfície do dispositivo. Porque ele vai vibrar naquela frequência x. Meu problema é: não consigo entender essa relação com o mosfet (MOS) quando lidamos com sensores de gás, não consigo entender o princípio básico associado ao dispositivo MOS (atenção, eu sei como o MOS funciona). Não consigo encontrar uma relação simples, não sei como funciona um sensor de gás cantilever com tecnologia MOS. Como os dois funcionam juntos?